Tiến hành các thí nghiệm sau:
(1) Cho dung dịch NH4Cl bão hòa tác dụng với dung dịch NaNO2 bão hòa đun nóng.
(2) Cho MnO2 vào dung dịch HCl đặc, đun nóng.
(3) Nung tinh thể KClO3 có xúc tác MnO2.
(4) Cho Ba vào dung dịch CuSO4.
(5) Hòa tan SiO2 trong dung dịch HF.
(6) Dẫn khí CO đến dư qua MgO, nung nóng.
Sau khi kết thúc phản ứng, số thí nghiệm tạo ra đơn chất là: